Bộ nguồn mâm kẹp tĩnh điện Trek Model 646

Bộ nguồn  mâm kẹp tĩnh điện Trek Model 646

Hãng sản xuất: TREK – USA

Model: 646

 Thông số kỹ thuật:

• Điện áp ra:

• Pha A: 0 ± 3kV
• Pha B(ngược pha với A): 0 ± 3kV

• Dòng ra: 0± 6,5 mA DC với đỉnh là 10mA
•  

   Trek model 646: là phần mềm điều khiển nguồn cho mâm kẹp tĩnh điện cung cấp một loạt các tính năng quan trọng cho các ứng dụng yêu cầu khắt khe. Model 646 tích hợp công nghệ của Trek đã chứng minh sự gia tăng hiệu năng và công suất bằng ba lần so với bộ nguồn khác. Loại bỏ sự dính wafer và wafer nảy. Với tính linh hoạt và hiệu quả của model 646, nó có thể được sử dụng trong nhiều dụng cụ đặc biệt, quy trình. Do đó loại bỏ được sự cần thiết phải tìm kiếm một bộ  nguồn mới cho mỗi thiết bị, quy trình khác.

Ứng dụng :

• Trong quy trình chế tạo bán dẫn
• Xử lý của vật liệu
• Giúp truyền tấm phẳng hoặc vật liệu nhạy cảm với xử lý cơ học

Tính năng:

• Hỗ trợ cả hai công nghệ Coulombic và Johnsen- Rahbek ESC
• Người dùng có thể tùy chỉnh cấu hình  cho kẹp ,bỏ kẹp và dạng sóng
• Cấu hình mâm kẹp tĩnh điện có thể được tải lên và lưu trữ thông qua giao diện phần mềm.
• Có thể khóa giao diện bảng điều khiển lại
• Khả năng kiểm soát các thông số như:quá dòng, bù điện áp, kiểm tra sự có mặt của wafer và sự kẹp, bù điện áp và biên độ .
• Phát hiện wafer: không có, có hay trạng thái kẹp hay không
• Đầu ra có thể được điều khiển và kiểm soát bởi bảng điều khiển hay lệnh trực tiếp từ máy tính
• Giấy chứng nhận NIST được gửi kèm theo mỗi sản phẩm

   

  Tags: nguồn một chiều DC, nguồn DC lập trình,  nguồn AC, Power DC,AC